Per le applicazioni sottovuoto i giunti devono soddisfare requisiti specifici. I materiali devono essere selezionati attentamente in base al grado di vuoto. Vanno evitati ad esempio materiali che possano rilasciare gas. Allo stesso tempo è richiesto spesso l’utilizzo di acciai inox per gli elementi del giunto.
SCHMIDT-KUPPLUNG fornisce sistemi di giunti appositamente realizzati per queste condizioni d'impiego.
Controllo e misurazione nella produzione di wafer
Trasporto accurato nella produzione di wafer
I wafer sono un componente fondamentale dei sistemi fotovoltaici. Con essi si producono in vari passaggi le celle per i pannelli fotovoltaici. Il processo di produzione è molto complesso e dopo il prelievo iniziale dei wafer prevede il trasporto alle singole camere di processo con un grado elevato di precisione.
I giunti della serie Controlflex sono impiegati per il trasporto preciso dei wafer dopo che questi sono stati segati dai lingotti di silicio.
Monitoraggio del ciclo di lavoro degli impianti per il vuoto
In gran parte dei processi delle tecnologie sottovuoto la precisione del ciclo di lavoro è controllata da sensori e trasduttori di rotazione. In genere si tratta di trasduttori di rotazione appositamente adattati alla tecnologia del vuoto, che ad esempio monitorano il processo di rivestimento dei wafer di silicio nella produzione di semiconduttori. Il giunto per trasduttori di rotazione Sensorfit con mozzi in PPS ed elemento funzionale in POM garantisce un rilascio di gas ridotto al minimo, perfetto per il vuoto, e assicura il rilevamento e la trasmissione esatta e precisa degli impulsi di misurazione.
Precisione nell'applicazione di film sottili
Stesura uniforme dei film funzionali più sottili
Le particolari condizioni di pressione della lavorazione sottovuoto rendono possibile il processo di stesura dei film sottili, mediante il quale i materiali più diversi vengono ricoperti con uno strato ultrasottile, generalmente metallico. Citiamo tra l'altro il rivestimento sottovuoto di vetri speciali, display, schermi piatti, celle fotovoltaiche e pellicole speciali.
Le pellicole rivestite sono molto importanti per esempio nell'industria alimentare, inoltre come film per condensatori, film solare o film per trasformatori. Per la produzione di questi film si usano i cosiddetti impianti "roll-to-roll".
In questi impianti sono installati giunti della serie Semiflex appositamente adattati per la tecnologia sottovuoto.
Questi giunti sono realizzati in acciaio inossidabile del tipo idoneo. Una caratteristica importante dei giunti Semiflex destinati a questi impianti è quella di garantire la sincronizzazione permanente nonostante la compensazione dello spostamento: un fattore chiave per la stesura uniforme di film funzionali con spessori che vanno dai micron ai nanometri.
Trattamenti di indurimento sottovuoto
Resistenza al calore nella regolazione delle valvole a farfalla
Per i trattamenti di indurimento sottovuoto SCHMIDT-KUPPLUNG propone versioni speciali dei giunti della serie Loewe GK. Sono utilizzate nella regolazione delle valvole a farfalla, comandate per mezzo di movimenti oscillanti. I giunti fissati assialmente consentono un'elevata capacità di spostamento combinato radiale e angolare. Tutti i componenti sono realizzati in acciaio inossidabile. In funzione delle condizioni termiche circostanti che arrivano a 250°C, nei giunti con rigidità assiale sono presenti speciali cuscinetti a strisciamento termostabili per sottovuoto.