Hier ist Präzision im Unterdruck gefragt
Kupplungen in Anwendungen unter Vakuumbedingungen müssen spezielle Anforderungen erfüllen. Entsprechend des Vakuumniveaus müssen Materialien sorgfältig gewählt werden. Ausgasende Materialien sind beispielsweise zu vermeiden. Ebenfalls ist das Verwenden von Edelstählen für Kupplungsteile häufig gefordert.
SCHMIDT-KUPPLUNG liefert für diese Einsatzbedingungen abgestimmte Kupplungssysteme.
Waferherstellung, Steuerung und Messung
Akkurater Transport bei der Waferherstellung
Wafer spielen in der Photovoltaik eine große Rolle. Aus ihnen werden in mehreren Produktionsschritten Solarzellen für Solarmodule gefertigt. Der Herstellungsprozess ist dabei sehr komplex und verlangt, nachdem die Wafer zu Beginn ausgeschleust werden, nach einem punktgenauen Transport zu den einzelnen Prozesskammern.
Kupplungen aus der Baureihe Controlflex werden für den exakten Transport von Wafern eingesetzt, nachdem diese aus den sogenannten Silicium-Ingots ausgesägt wurden.
Überwachung des Arbeitsablaufs in Vakuumanlagen
In den meisten Prozessen der Vakuumtechnik überwachen Sensoren und Drehgeber den präzisen Arbeitsablauf. Meist sind dies speziell für die Vakuumtechnik angepasste Drehgeber, die bspw. in der Halbleitefertigung den Beschichtungsvorgang von Silikonwafern überwachen. Die Drehgeberkupplung Sensorfit mit Naben aus dem Werkstoff PPS und Funktionselement aus POM gewährleistet ein vakuumgerechtes minimalstes Ausgasverhalten und sorgt für die exakte und präzise Aufnahme und Weitergabe der Messimpulse.
Präzision im Dünnschichtverfahren
Gleichmäßiger Auftrag feinster Funktionsschichten
Durch die im Vakuum entstehenden speziellen Druckbedingungen können im Dünnschichtverfahren die verschiedensten Werkstoffe mit hauchdünnen – meist metallischen – Schichten versehen werden. Dazu gehört u.a. das Vakuumbeschichten von Spezialgläsern, Displays, Flachbildschirmen, Photovoltaik sowie von Spezialfolien.
Beschichtete Folien haben eine große Bedeutung beispielsweise in der Lebensmittelindustrie, als Kondensatorfolie, als Solarfolie oder als Trafofolie. Zur Produktion dieser werden sogenannte Rolle-zu-Rolle-Anlagen verwendet.
In diesen Anlagen arbeiten speziell auf die Vakuumtechnologie angepasste Kupplungen der Baureihe Semiflex.
Diese sind aus entsprechendem Edelstahl gefertigt. Ein wichtiges Feature der Semiflex für diese Anlagen liegt darin, dass ein permanenter Gleichlauf trotz eines Verlagerungsausgleichs gewährleistet ist, was essentiell wichtig ist für ein gleichmäßiges Auftragen dieser mikro- bis nanodünnen Funktionsschicht.
Vakuumhärtanlagen
Trotzen der Hitze bei der Klappenverstellung
Für Vakuumhärtanlagen liefert SCHMIDT-KUPPLUNG spezielle Ausführungen der Kupplungsbaureihe Loewe GK. Einsatz finden sie in Klappenverstellungen, die über Schwenkbewegungen angesteuert werden. Die axial fixierten Kupplungen bieten eine hohe kombinierte Radial- und Winkelverlagerungskapazität. Alle Bauteile sind aus Edelstahl gefertigt. Entsprechend der hohen thermischen Umgebungsbedingungen bis zu 250°C arbeiten in den axial steifen Kupplungen spezielle thermisch stabile Vakuumgleitlager.