Akkurater Transport bei der Waferherstellung

Wafer spielen in der Photovoltaik eine große Rolle. Aus ihnen werden in mehreren Produktionsschritten Solarzellen für Solarmodule gefertigt. Der Herstellungsprozess ist dabei sehr komplex und verlangt, nachdem die Wafer zu Beginn ausgeschleust werden, nach einem punktgenauen Transport zu den einzelnen Prozesskammern.
Kupplungen aus der Baureihe Controlflex werden für den exakten Transport von Wafern eingesetzt, nachdem diese aus den sogenannten Silicium-Ingots ausgesägt wurden.

Überwachung des Arbeitsablaufs in Vakuumanlagen

In den meisten Prozessen der Vakuumtechnik überwachen Sensoren und Drehgeber den präzisen Arbeitsablauf. Meist sind dies speziell für die Vakuumtechnik angepasste Drehgeber, die bspw. in der Halbleitefertigung den Beschichtungsvorgang von Silikonwafern überwachen. Die Drehgeberkupplung Sensorfit mit Naben aus dem Werkstoff PPS und Funktionselement aus POM gewährleistet ein vakuumgerechtes minimalstes Ausgasverhalten und sorgt für die exakte und präzise Aufnahme und Weitergabe der Messimpulse.